南方（以广东起步）电力现货市场2022年3月现货结算试运行日报（03.17）

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【图文导读】图1：步电报在竹状立柱表面上的晶硅纳米线连续自换行盘旋生长及其NEMS谐振器件结构图2：步电报金属液滴与柱面引导沟道尺寸匹配条件，及优化后多层连续生长盘龙柱结构的稳定性验证图3：中心支撑完全或部分刻蚀释放后的纳米螺旋弹簧阵列结构图4：基于站立纳米线螺旋结构实现的立体弹簧-球负载复合结构，及其可拉伸特性测试。单个纳米螺旋三维结构在电学驱动下实现的三种不同振荡本征模式，力现及其对应的形变模拟示意图【总结】在这个工作中，力现作者利用深硅刻蚀工艺，制备侧壁具有波纹状结构的柱阵列，结合IPSLS纳米线生长技术，利用侧壁波纹状结构引导催化金属液滴自动跨越侧壁沟道运动，制备了三维纳米线螺旋结构。并且通过选择性刻蚀去除中心柱，货市实现了纳米线螺旋结构的释放，获得自支撑纳米线弹簧结构。

释放后的三维纳米线螺旋结构，现货行日可以在外加交流电场驱动下，实现机械振动。值得指出的是，结算在盘旋上升或下降的纳米线生长过程中，结算柱状表面的平行引导沟道（sidewallgrooves）发挥了至关重要的作用：正是在其引导下，金属催化液滴首先进行规则地水平盘旋生长，在绕柱一周吸收完本层非晶前驱体后，自动换行生长（line-feedinggrowth）进入下一层引导沟道，从而保证能够一次性生长出连续的纳米线螺旋结构。

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